该系列的配比装置分为两种不同的型号,种型号采用的是质量流量控制器分别对氢氮气体的控制获得稳定的氢氮混合气体,适用于小流量的混合气配比;第二种型号采用氢气通过PID比例阀加入氮气中形成的混合气,出口采用热导氢分析仪在线检测,适用于大流量的氢氮混合气配比。" />
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